Megasonic Mask & Glass Cleaner (초음파 마스크 클리너)                                         

                    

Mask Size	500mmx500mm or less
Chamber Material	SUS 304
Body Size/ Material	1050Wx1250DX1800H mm/SUS
Spin Motor	AC servo Motor
Spin Rotation	Max. 2500 RPM
Brush Rotation	50~200 RPM
Rotation Controller	Digital Controller
Brush Material	Nylon, PVA sponge
Megasonic	1 MHz
Power Supply	AC200V
N2 source	0.2MPa, 50L/min, Ø6 connection
Air source	0.4MPa, 20L/min, Ø6 connection
Pure Water source	0.2MPa, 10L/min, PT1/2 connection
Drainage	2 lines, PVC-25A
Exhaust	2 lines, PVC-100A
Maker

 컴팩트한 사이즈이며, 정비가 쉽습니다.

• 디스크 브러쉬로 마스크를 회전시키며 D.I 클리닝, megasonic, N2 dry 합니다.
• 초음파(megasonic) 챔버내에서 클리닝 합니다.

mask cleaner Model GMBC-500M, mask 500x500mm

chamber 내에서의 마스크 클리닝(mask cleaning) 공정