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Model JS2D-200
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웨이퍼 스핀
드라이어 ( Spin drier )
본 장치는 원심력에 의해서
카세트와 함께 웨이퍼를 건조합니다.
사양
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웨이퍼 사이즈
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직경 6인치,
8인치, 2 또는 4 캐리어
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챔버 직경
및 재질
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직경 800mm,
SUS304
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몸체 재질
및 사이즈
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스텐레스 소부도장,
W900xD1185xH1170
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스핀 모터
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인덕션 모터,
인버터
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RPM
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0~1,000 (선택사양
1,200)
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RPM indicator
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디지털 타코미터
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공정 스텝
수
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2 스텝
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파워 서플라이
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220V, 3상,
15A
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Dry air
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0.5MPa, 5L/min,
RC 1/4" 이상
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배기
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직경 150mm
덕트, 8 입방미터/min, 자동 댐퍼
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배수
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12A pvc 파이프,
8L/min
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Model JS2D-8S
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웨이퍼 스핀
린스
드라이어 ( spin rinser dryer, 스핀 드라이어 )
본 장치는 원심력에 의해서
카세트와 함께 웨이퍼를 린스, 건조합니다.
사양
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웨이퍼 사이즈
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직경 4, 5,
6, 8 인치 1 캐리어
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챔버 직경
및 재질
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직경 300~500mm,
SUS304
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몸체 재질
및 사이즈
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SUS304, PVC
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기능
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DI 린스, N2
드라이, ESD
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공정 입력
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LCD 터치패널
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RPM indicator
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디지털 타코미터
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공정 스텝
수
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10 프로그램,
10 스텝/ 프로그램
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파워 서플라이
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220V, 3상,
15A
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Dry N2
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3Kg/cm2
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배수
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1.5 inch PTFE 파이프,
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경기도 안양시 동안구 호계 1동 555-9, 안양 유통상가 24동 307호, 우) 431-080
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